所谓真空度传感器就是利用了先进的硅微机械加工技术生产，真空度传感器的精度非常的高，是比较突出的优点,它是以集成硅压阻力敏元件作为传感器的核心元件制成的绝对压力变送器。

    真空度传感器由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔，及一系列无应力封装技术及精密温度补偿技术，因而具有稳定性优良、精度高的突出优点，适用于各种情况下绝对压力的测量与控制。真空度传感器采用低量程芯片真空绝压封装，产品具有高的过载能力。芯片采用真空充注硅油隔离，不锈钢薄膜过渡传递压力，具有优良的介质兼容性，适用于对316L不锈钢不腐蚀的绝大多数气液体介质真空压力的测量。

    真空度传感器的用途十分的广泛，它被广泛的应用于各种工业环境的低真空测量与控制，为工业环境的检测提供非常大的帮助。